"¿Qué es nanoFAB?"
Dr. Eulices Baltazar Acosta Enríquez
Posgrado en Nanotecnología
Departamento de Física
Universidad de Sonora
Resumen:
Esta plática tiene como objetivo informar sobre el laboratorio nacional de nanofabricación "nanoFAB", en el cual se realizan prototipos electrónicos de micro y nano fabricación.
Para ello, en nanoFAB contamos con diferentes equipos de depósito como son depósito de vapores quimicos (CVD, por sus siglas en inglés) en diferentes variantes, MOCVD y próximamente HYSY-CVD, además se cuenta con equipos de depósito de capas atómicas (ALD, pro sus siglas en inglés).
También se cuenta con equipo para depósito por spin coating y solgel. Hay equipos de caracterización eléctrica Keithly 4200A SCS, así como equipo para medir fotoluminiscencia y un simulador solar para caracterización de celdas solares